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電感耦合等離子體發射光譜儀 ICP采用的晶體管固態高頻發生器，是目前商品化ICP光譜儀中，體積Z小、重量Z輕的發生器。霧化效率高，達到65%。所以，載氣可以用工業氬氣（99.95%），而無需使用高價的高純氬氣（99.999%）。